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干涉显微镜 6JA

用以测量表面光洁度,刻线或度层的深度,配以各种附件还能测量粒状,纹路混乱和底反射率的表面。同时还可将仪器安置在工件上,对大型工件表面进行测量。

主要技术规格:
不 平深度测量范围: 0.03---1μm(▽10----▽14)
放大倍数: 500×(目视);168×(照相)
视场范围: φ0.25mm(目视); 0.15×0.21mm(照相)
工作距离: 0.5mm
测微器分划值: 0.01mm

 
 
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